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碳化矽基板
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日本スペリア、ハンダ材料パワー半導体向け強化 | 化学工業日報
... たウエハー-金属接合もシリコン(Si)に加えて炭化ケイ素(SiC)での利用を提案する。 ... 昭和電工マテ、半導体パッケージ基板材料、低.
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