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碳化矽基板
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酸化物系全固体電池向けの高容量正極と負極を開発 - EE Times ...
Si基板を用いた窒化物超伝導量子ビットを開発 · 産総研ら、超伝導体でスピン配列の制御を実現 ... 産総研ら、SiCウエハーの高速研磨技術を開発 ...
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