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碳化矽基板
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https://news.mynavi.jp/article/20211122-2196001/
NEDOなど、低コストなGaN結晶成長技術の有効性を確認
NEDOは、GaN基板の高品質かつ高生産性を有した低コスト製造技術「SCAAT-LP」を用いた結晶成長 ... 名大、欠陥の少ない高品質な6インチSiC単結晶基板の.
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