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氮化鎵在圖形化4H-SiC基板上的磊晶 - 碩博士論文網

隨著環保意識的抬頭，全球半導體產業則聚焦在提高產品效率、降低功耗、減少材料使用等相關技術之投入，以達到CO2 排放減量之目的；第三代半導體材料碳化矽(SiC)元件與 ...

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