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公告本院可運用之智慧財產權:碳化矽技術專利

一種碳化矽基板上製作超薄石墨膜之方法，步驟包括: (A)提供一聚醯胺酸溶液、ㄧ含矽氧烷之耦合試劑於惰性氣體氣氛下聚合成ㄧ含矽氧烷耦合基團之聚醯胺 ...

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