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矽的特性
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https://ir.nctu.edu.tw/handle/11536/54079?locale=zh_TW
矽離子佈植二氧化矽中雜質與奈米矽晶特性分析
本篇論文主要研究,矽離子佈植二氧化矽(SiO2:Si+) 經1100oC 1-3小時高溫退火下,雜質與奈米矽晶(nc-Si) 在SiO2:Si+的特性分析與所形成的半導體特性。
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