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石英玻璃超精密磨削加工表面完整性研究 - CNKI

摘要：石英玻璃具有熱膨脹系數低、光譜特征良好、電絕緣性高等特性,被廣泛應用在航空航天、半導體通訊、激光和電學裝備等領域。然而傳統的加工方法已經滿足不了石英 ...

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