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行政院環境保護署主管法規共用系統-行政函釋內容

... 之製程流程圖之蝕刻槽（區）設 置有 3 台蝕刻機，倘該公司製程涉及前揭說明物理氣相沈積、化學 氣相沈積、光阻、微影、蝕刻、擴散、離子植入、氧化與熱處理等製

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