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熱處理步驟
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應材發表新技術為製程微縮增添動能 - 新電子
此系統它將原子層沉積(ALD)、熱處理步驟、電漿處理步驟和量測技術整合在一個高度真空的系統中。 應材還展示了用於GAA金屬閘極堆疊工程設計的IMS系統, ...
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