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氮氣氛熱處理對CrAlSiN 薄膜結構及磨耗行為之影響 ... - YOKE

熱處理，然後進行微結構(XRD、SEM、TEM)分析、奈米壓痕試驗及磨耗試驗， ... 關鍵詞：CrAlSiN 薄膜、後熱處理、微結構、硬度、耐磨耗 ... 熱處理步驟與條件如Fig.

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