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熱處理步驟
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半導體製程技術
形成積體電路圖形的步驟如圖所示。首先在矽. 晶上以熱處理方法長一層氧化層,其次在氧化. 層上塗一有機光阻層。利用紫外光通過一光罩. 透光的部份。
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