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無塵室等級iso
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https://www.researchmfg.com/2016/08/clean-room-iso-14644-fs-209e/
無塵室(Clean Room)的微塵等級標準:ISO-14644、FS-209E
最早時期無塵室的等級參考「美國聯邦標準209D規格」,基本上是以一立方英呎含有多少個大於0.5um直徑的微塵粒子來定義的,因為當時最小只能補抓到0.5um。
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台積電無塵室等級
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