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科技廠製程用去離子水・無菌超純水系統

鎮釱超純水系統透過RO＋EDI 超純水，依純度要求搭配核子級離子交換樹脂（nuclear type），製取去離子水，精煉超純水阻抗值（Resistivity）高達18 MΩ.cm，亦即超純水 ...

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