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無塵室技術及計算流體力學之應用 - CTCI

無塵室依循環氣流型式，可分類為：層流式及紊（亂）流式無塵室。層流式的特性與原理，為單一氣流方向，利用此氣流方向來帶走塵粒，由於單一氣流方向可以避免塵 ...

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