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稀有气体在电子行业的应用

激. 光气体是98 +％的氖气与其他稀有气体（氩气，氪气，. 氙气）和卤素（通常为氟气 ... • 电子：电子应用中的用途是作为. DUV 准分子激光器和溅射中的共. 反应物，是需求量 ...

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