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RCA clean 製程 - 弘塑科技股份有限公司

濕 式蝕刻技術的優點在於其製程簡單、成本低廉、蝕刻選擇比高且產量速度快。 濕式蝕刻機制: 一般是利用氧化劑將蝕刻材料氧化，再利用適當的酸將氧化後的材料溶解於水中 ...

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