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奈米薄膜技術與應用 - 第 54 頁 - Google 圖書結果

除了 QMS 外,通常還裝有高能電子繞射儀( reflection high electron energy diffraction , RHEED )和歐傑電子能譜儀( Auger energy spectrometer , AES )等原位檢測儀器 ...

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