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光阻特性 - Kouji

一般正光阻曝光後因繞射特性之影響，使得光阻上方所接受之曝光劑量高於光阻底部所接受之曝光劑量，這使得圖像側壁角度… 光阻玻璃型過渡溫度Tg 烘烤溫度要比Tg高提供 ...

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