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光阻英文

正光阻: 光阻本身難溶于顯影液，曝光后解離成小分子，形成容易溶于顯影液的結構。 ... 紫外線製程所使用的化學增強型光阻,曝光後的烘烤提供酸擴散和增強時所需的熱量.

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