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對面板良率至關重要!黃光製程與設備詳解

因爲黃光的波長較長, 不容易使得光刻膠曝光, 因此將黃光作爲顯影前最理想的照明光源。 ... 第1 步, 曝光後之烘烤(PEB), 目的是減少駐波.

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