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光刻胶技术参数、分类及工艺流程剖析 - 中华显示网

在受到紫外光曝光后，它在显影液中的溶解度会发生变. ... 在曝光时由于驻波效应的存在，光刻胶侧壁会有不平整的现象，曝光后进行烘烤，可使感光与未 ...

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