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第三章實驗方法

顯影完畢後，再將樣品放入90℃的烤箱中烘. 烤2 分鐘。 (6)以離子蝕刻法乾式蝕刻，在適當條件下將曝光部分之薄膜蝕刻乾淨，. 最後再用丙酮 ...

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