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晶片內部製造工藝詳解 - 今天頭條

矽片經矽元素（99．999％）提純後製成矽棒，成為製造集成電路的石英 ... 曝光後的晶圓進行二次烘烤，即所謂曝光後烘烤，烘烤後的光化學反應更為充分。

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