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正型光阻負型光阻的評價費用和推薦 - 教育學習補習資源網

對深紫外線製程所使用的化學增強型光阻,曝光後的烘烤. ... <看更多> ... 光阻是一種感光性材料，依曝光後產生的反應機構，可分為負型. 光阻及正型光阻二類，但目前應用 ...

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