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360°科技－平版印刷技術(微影) - 電子時報

4、軟烤：芯片上的光阻必須先經過烘烤，以便將光阻層中的溶劑去除，使光阻由原先的 ... 6、顯影：將曝光後的光阻層以顯影劑洗去，照射過光的光阻則會殘留，其他的落入 ...

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