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应用® Sigmameltec ® SFB面膜烘烤系列

使用化學放大型光阻進行光罩製造時，必須對曝光後烘烤(PEB) 步驟進行嚴格控制，這樣便可完成由圖案曝光引發的化學反應。烘烤溫度和時間也會影響最終的圖案尺寸，因此烘 ...

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