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第一章 前言

程中由於極性的不同，造成附著力不夠，因此常利用HMDS. (hexamethyldisilazane)蒸鍍在晶圓表面，藉以改變晶圓表面的極性. 晶片清洗. 曝後烤. 軟烤. 光阻塗佈. 曝光.

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