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駐波效應光阻

在曝光後的烘烤製程之後, 由於酸的增強作用而產生顯著的化學變化，因此曝光區域的 ... 第二部分為反射與入射之光波干涉後產生的駐波現象之補償，藉由曝光後烘烤程序， ...

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