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導光板微結構之製作研究The fabrication of light guide plate ...

曝光後烘烤 (PEB)溫度65℃、95℃各5 分鐘,設. 備為加熱板，烘烤溫度320℃，時間1 小時至2. 小時之間。 由圖17~18 所示,可看出SU-8 光阻液,有熱迴流. (reflow)之現象 ...

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