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微流控SU-8光刻胶的紫外曝光 - 新闻- 腾讯

SU-8光刻胶UV曝光的目的是通过部分SU-8光刻胶的PAC（PhotoActiv Component）激活/活化来引发交联。这种活化将会改变SU-8的局部性质，这种性质在烘烤后 ...

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