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99 年度電子半導體生產設備製造業原物料耗用通常水準

圖二-2 全自動曝光機(Exposure System) (左)、對準系統簡圖(右) ............. 32. 圖二-3 全自動精密溫度控制晶圓烘烤爐(Wafer Oven) .

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