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延遲烘烤效應與新開發聚焦圖像在深紫外光微影技術之應用

由於雷射光源的輸出功率太低，原先所使用的光阻必須更換成化學放大型的深紫外光光阻。對於化學放大型的光阻，曝光後烘烤時的熱能，可使曝光時產生的光酸形成連鎖反應，而讓 ...

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