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光刻加工--烘烤 - 原位芯片

通过烘烤抗蚀剂，去除了大部分溶剂，并且该膜在室温下变得稳定。从光致抗蚀剂膜上去除溶剂有四个主要效果：（1）减小膜的厚度；（2）曝光后烘烤并改变 ...

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