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為什麼半導體中要用光罩

矽片經硅元素(99.999%)提純後製成硅棒,成為製造集成電路的石英 ... 曝光後的晶圓進行二次烘烤,即所謂曝光後烘烤,烘烤後的光化學反應更為充分。

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