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半導體元件概論講義(6/8) - 黎明技術學院電機工程系

黃光微影製程步驟. 晶圓清洗. 光阻塗怖. 預烘烤. 顯影. 蝕刻. 曝光. 曝光後烘烤. 光阻剝除. 線路檢查. 硬烤. 晶圓對準. Page 14. 13. 光阻劑旋轉塗佈.

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