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曝光後烘烤 - 中文百科全書

為了降低駐波效應的影響，在曝光後需要進行烘焙，稱為曝光後烘烤。同時光致抗蝕劑（光刻膠）被曝光後其光致化學反應並未完全結束，此時需要通過一定溫度 ...

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