曝光後烘烤. (Post Exposure Bake, PEB ). •光阻玻璃型過渡特性(Glass transition)溫度T g. •烘烤溫度較T g. 高. •光阻分子產生熱運動. •過度曝光與曝光不足的分子 ...
確定! 回上一頁