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曝光後烘烤
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Applied® Sigmameltec® SFB Mask Bake Series
使用化學放大型光阻進行光罩製造時,必須對曝光後烘烤(PEB) 步驟進行嚴格控制,這樣便可完成由圖案曝光引發的化學反應。烘烤溫度和時間也會影響最終的圖案尺寸,因此烘 ...
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「曝光後烘烤」
的人也找了:
曝後烤駐波效應
曝後烤目的
曝光顯影製程
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曝光機原理
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曝光機種類