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曝光後烘烤 - 軟體兄弟

曝光後烘烤,列出四種對準(alignment)和曝光(exposure) 系統g p. ) •敘述晶... 過度烘烤(Over bake)：使光阻聚合,曝光不靈. 敏... 會與光罩上的圖形相去甚遠，曝光後的 ...

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