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半導體元件物理與製程─理論與實務 - 第 193 頁 - Google 圖書結果

... 有特殊的記號稱為對準鍵,以用來對準。曝光(exposure)的目的就是將光罩上的圖案精確的轉印在晶圓表面的光阻上。而曝光後的烘烤是為了活化光阻內的溶劑、增加光阻的 ...

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