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第二章文獻回顧

微機電 系統製程技術應用於微光開關製作方面，主要以此四種製程技. 術為主流：(1) 矽基微加工 ... 步驟五：以氧化矽為遮罩，深蝕刻矽晶片基板，深度為4-20 µm。

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