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#1微系統類LIGA 製程光刻技術
光刻技術作通盤性的介紹，內容涵括標準X-ray LIGA 製程、類LIGA 製程的厚膜光阻UV 微. 影技術、準分子雷射微細加工及感應 ... LIGA (LIGA-like) 製程已成為研究趨勢。
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#2LIGA技術 - 國立高雄科技大學第一校區
微機電系統導論─LIGA 與LIGA-like製程1. National Kaohsiung First University of Sci. & Tech. Micro-Electro-Mechanical System Lab. LIGA 技術. LIGA Technology.
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#3第二章文獻回顧 - 國立臺灣師範大學
昂貴的設備，世界上適合用來進行X-ray LIGA 製程的同步輻射環僅約30. 座，且X-ray 光罩的製作成本與時間的耗費過高。因此以替代性光源發展類. LIGA(LIGA-like)製程已經 ...
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#4何謂LIGA www.tool-tool.com＠BW Cutting Tools｜PChome ...
標準的LIGA製程是使用波長0.2-0.6nm的同步輻射X光來進行深光刻術，這是由於同步輻射X光具有波長短、繞射現象小、功率大、穿透力強等優點，亦正因為如此才使得LIGA製程所 ...
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#5微奈米製程與科技之應用
仿X 光刻電鑄模造( LIGA-like ) ... 製程中僅需要少量的化學反應用氣體，是. 比較好的蝕刻方法 ... MEMS的發展，根源於1960年代中期利用半導體製程，.
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#6第二章文獻回顧
LIGA 製程技術之光罩是由吸收體(Absorber)、承載膜(Membrane). 等所組成。 ... 離子蝕刻等來做為替代性光源，這種製程則稱為類LIGA(LIGA like)。
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#7何謂LIGA www.tool-tool.com - Le blog de willy
標準的LIGA製程是使用波長0.2-0.6nm的同步輻射X光來進行深光刻術，這是由於同步輻射X光具有波長短、繞射現象小、功率大、穿透力強等優點，亦正因為如此才 ...
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#8微機電系統簡介
以半導體製程為出發點. 嘗試製作任何非電路的微小元件 ... 結合微影、沉積、摻雜、蝕刻等製程. 可在矽晶片上形成多層薄膜 ... 光刻電鑄模造技術(LIGA及類LIGA技術).
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#9高精密電鑄技術應用於矽晶太陽電池之細線電極製作 - 材料世界網
再將照射過的光阻經顯影( Developing )後可獲得一由光阻形成之模版圖型。標準LIGA 是使用同步輻射X光作為光源；廣義LIGA（亦可稱為類LIGA製程( LIGA-like ...
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#10類LIGA 技術加工SU-8 光阻以製作折射式微透鏡陣列之研究
The study of LIGA-like technology in manufacturing refractive microlens arrays with SU-8 ... 透鏡材料,利用準分子雷射光微加工法的類LIGA 製程,探討以SU-8.
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#11應用UV - LIGA 於導光板模仁之製作研究
(1) 利用類LIGA 製程中的UV-LIGA 來製作Dot 型導光板的模仁特徵， ... (1) The UV-LIGA of LIGA-Like process is used to fabricate dot type light guide plate.
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#12CH 4 微機電元件之關鍵製程蝕刻與LIGA. - SlidePlayer
Presentation on theme: "CH 4 微機電元件之關鍵製程蝕刻與LIGA. ... also know as Buffered Oxide Etch (BOE)氟化氨當氫氟酸的緩衝劑以補充氟離子蝕刻時的消耗。
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#13博碩士論文行動網
論文名稱(外文):, The study of LIGA-like technology in manufacturing ... 本論文將以SU-8 光阻作為微透鏡材料，利用準分子雷射光微加工法的類LIGA製程，探討以SU-8 ...
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#14類LIGA製程應用於靜電式微致動器光開關之研製 - Airiti Library ...
... Microactuator for Optical Switch Application by LIGA-like Process ... 微機電系統技術中整合光刻術、電鑄及模造成型之深光刻電鑄模造(LIGA)製程，是批量生產 ...
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#15以UV-LIGA製程製作之梳狀致動器
Fabrication of Comb Drive Microstructures by UV-LIGA Process ... 侯勝發，2000，Quasi-LIGA-like 製程研製二維振動式微陀螺儀，國立成功大學，碩士論文。
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#16電鑄技術簡介
如圖. Page 3. 圖、LIGA 製程意示圖. 第一步驟是在基板上鋪上一層厚度數十至數百微米的高分子光阻材料，光源. 經由特殊設計與製作的光罩照射在光阻上。 第二步驟是將照設過 ...
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#17微機電製程步驟的評價費用和推薦，EDU.TW
在MEMS 的領域中，目前可被用以. 製作微結構的方法可分為四類：面型矽基加工、體型矽基加工、LIGA. 技術及各種微機械加工技術，面型矽基加工係指利用半導體製程之薄.
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#18LIGA 製程應用於LED 封裝技術之研究研究成果報告(精簡版)
鑑於此，本研究計劃發展出雙曲率的無縫微透鏡製程，使用LIGA-Like 製程以一次電鑄. 並配合金屬玻璃材料作為模仁，再進行微熱壓製程，如此可以得到精確的模仁，將此模.
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#19提升太陽能電池模組封裝效率之研究Solar Modules Efficiency ...
此外，以類LIGA(LIGA like)製程，. 製作一體成型封裝轉印之微透鏡陣列(Micro-lens Array, MLA)太陽. 電池模組，並藉由光學軟體輔助設計驗證，以探討微透鏡陣列對太.
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#2020080701-066-Liga Like | PDF - Scribd
LIGA LIKE · 標準的LIGA 製程使用同步輻 · 微機電產業將來勢必為國家最重要的產業之 · LIGA-like 類深刻模造技術即是指以其他替 · 光源波長1.3 nm ，曝光深度 ...
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#211091_微機電系統技術與整合INTEGRATION OF MEMS ...
01-1~5基礎半導體製程(Basic semiconductor/IC process). 02體型微加工 (Bulk micromachining). 03面型微加工 (Surface micromachining). 04 LIGA／LIGA-like 製程 ...
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#22紫外線基奈米壓印微影 - 應用科學系
LIGA技術. 深刻技術; 微電鑄技術; 微成形技術. LIGA製程範例; LIGA-like ... X光LIGA製程一般均使用同步輻射光(synchrotron radiation)作為曝光光源。
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#232004 IKE 48-0 - PIDC Support Development Network - PSDN
試比較LIGA 與LIGA-like 製程上的差異？ ... 試述反應射出成型方法與製程的優點特性？ ... 類LIGA 製程; IKE-Table: LIGA 與類LIGA 製程成本比較 ...
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#24Microsoft PowerPoint - Chapter 4 非矽基微加工與應用技術
非矽基微加工製程與應用技術Non-Si-Based Micromachining Technology and its Applications in Microsystem Field 綱要LIGA 與LIGA-Like 製程與應用技術SIGA 製程與 ...
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#25應用微射出成形於微扣件之製作 - 9lib TW
射出成形的微模仁製作是利用LIGA-Like 製程與厚膜光阻來完成，再以微電鑄翻模方式， 完成微模仁。 成形射出後，將兩個微扣件元件組裝，並用拉力試驗機給予拉力，得知微 ...
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#26微渠道測試環路(液體) - 微熱傳增強研究室
再配合MPIV 量測微渠道內流體速度分佈情形。測式用之微渠道則使用LIGA-like 製程技術製作，如圖二所示。 圖一.
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#28產品資訊| 和淞科技股份有限公司
和淞擁有「非矽基LIGA-like 微機電技術」，可用於設計製作微米等級的元件。本公司自有黃光室及電鑄室，以微影製程光罩圖型設計模仁後，再以精密電鑄製成微米等級的 ...
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#29電熱式微致動器驅動微夾爪之製作分析- 國立高雄應用科技大學
驗中發現影響成品成形性最大因素為保壓壓力, 再者為模具溫度, 最小為射出速度。 本研究以類深刻模造(LIGA-Like) 的製程 ...
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#30應用電鑄於微快速模具之研發（The Development of Micro ...
研發包括快速成形於電鑄微特徵快速模具應用與快速成形於半類LIGA (Quasi-LIGA-like) 金屬微結構製程兩部. 分。快速成形於電鑄微特徵快速模具應用是以高精度光造型快速 ...
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#31穩銀科技股份有限公司- 微流通道,微流控,生醫微感測器,磁珠,微 ...
穩銀科技是一家專門用LIGA-like 之技術來從事微機電代工服務的公司，我們發展出一種獨特的技術，可以很容易的做出複雜的三維微結構，微結構體的材質主要是金屬合金，也 ...
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#32奈米壓印(微影)技術簡介Introduction to Nanoimprint ...
34 為何發展LIGA-Like製程？ 由於同步輻射X光光源取得不易，成本極高，且作為阻擋X光穿透之光罩因製作不易，所以價格不 ...
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#33應用微射出成型製作光學讀取頭之光柵製程分析陳緯旭
利用LIGA-like 製程製作出的光柵結構模仁，本文將探討微射出成型與微射壓成型技術之成型性，並以田口式品. 質工程進行實驗部份，其中以光柵+ 1 階繞射角度之理論值為 ...
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#34應用創新精微薄板取代製程於一體化導光板的設計
LIGA -like 製程結合微影與電鑄製程著作模. 具的薄板取代(Stamper)，具有高精度與光學特性，可. 精準的佈點，成為學者積極研究的課題，但現有方法.
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#35公開課程- 奈米材料與微系統技術(台南班)
奈米材料與微機電系統技術涵蓋奈微米材料，加工,製程整合，與元件系統等基礎與應用相關知識，是跨領域整合的關鍵技術， ... —LIGA/LIGA-like整合製程.
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#36微光學元件之製作與量測國立中央大學
利用LIGA-like 製程技術以準分子雷射加工進行微光學元件之製作，. 方法是使用KrF、波長248nm 之深紫外光準分子雷射，透過一片含. 有數種圖樣之鍍鉻光罩，經由物鏡以 ...
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#37敎專研96P-003 具微流道高分子生物晶片熱壓成型特性之研究
在本研究中，利用紫外光深刻模造法(UV-LIGA)製程以矽基SU-8光阻搭配微電鑄來 ... UV-LIGA like processes were used to prepare silicon based.
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#38TWI467256B - 一種高分子波導的製作方法
而另外，LIGA(Lithographie Galvanik Abformung)技術的缺點在於需要很厚的光阻 ... 高分子光波導研究發明的焦點方向逐漸走向結合鑄模技術的類LIGA(LIGA-like)製程。
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#39登入下載全文 - tku
... micro aerial vehicle )之轉向，分別以SU-8厚膜負光阻與不鏽鋼為致動器材料，並利用SU-8 LIGA-like製程與雷射切割不鏽鋼之方式，成功製作出仿生尾舵之機構，再利用 ...
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#40畢業論文-國立中央大學光電科學與工程學系
微小元件於LIGA LIKE 製程上之研究姓名: 李東諺. 指導教授. 張榮森. 論文摘要. . . 地址： 320317 桃園市中壢區中大路300號國鼎光電大樓 電話： 03-4227151 ext ...
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#41研發技術 - 生醫研發技術跨校媒合平台- 高雄醫學大學
奈米元件製程技術(Nano-Imprint)、微光機電系統/元件(Micro-optical-electro-mechanical system,MOEMS) 、微致動器/微發電機技術、LIGA-like (UV-LIGA 、Excimer-LIGA) ...
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#42何謂LIGA www.tool-tool.com @ BW CNC切削刀具學術交流館 ...
Bewise Inc. www.tool-tool.com Reference source from the internet. 透過X光深刻及電鑄製造精密模具，再大量複製微結的特殊製程，LIGA是德文（Lithographie ...
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#43成功大學李永春教授
金屬接觸轉印微影製程(Metal. Contact-Printing Photo-Lithography, ... 光微影製程技術，本實驗室已完成在滾 ... LIGA-LIKE 的技術，電鑄出具有微細結.
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#44發明說明書公告本(11)證書號數
用於積體光路或光波導元件與晶片的製程中。 ... 能在LIGA結構的厚光阻層上雕塑出深寬比佳的波導圖案,而這樣 ... 向結合鑄模技術的類LIGA(LIGA-like)製程。
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#45成功大學電子學位論文服務
利用CO2雷射加工有成本較低、加工彈性較高、和製程迅速之優點，並利用金屬光罩解決了傳統雷射 ... 在硬式導光板部份，重點在於導光板上表面的微結構UV-LIGA like製程。
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#46創新應用科技服務 - 金屬工業研究發展中心
探討精細網版印刷技術極限，並探討去黃光化製程之可行性與影響。 導電聚合物圖案示意圖. 圖案化基層LIGA-Like 模板. 3. 兼具均勻降解與促進骨癒合功能之醫用鎂合金表面 ...
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#47奈米科技計畫辦公室- 高雄儀器展
金屬接觸轉印微影製程 (Metal Contact-Printing Photo-Lithography, ... 準分子雷射微細加工技術可製作出高深寬比的立體陣列微結構，伴隨著LIGA-LIKE ...
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#48產品資訊| 和淞科技股份有限公司
和淞科技擁有「LIGA-like微機電製程」及「貴金屬電鍍」技術，並自有黃光室與電鑄/電鍍製程設備，實現微米等級金屬元件或模仁的打樣與量產，可打造微孔密集且孔徑小至2um的 ...
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#49CH 4 微機電元件之關鍵製程蝕刻與LIGA. 蝕刻製程的功能...
Slide 1 CH 4 微機電元件之關鍵製程蝕刻與LIGA Slide 2 蝕刻製程的功能蝕刻製程的功能， ... 170 ml H 2 O, 113 g NH 4 F ), also know as Buffered Oxide Etch (BOE) ...
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#50以微流道為例探討不同製程方式之研究
LIGA -LIKE 製程，如圖3 所示，使用UV. 光微影，得到所需的微溝槽，再將此矽基. 材母模經由電鑄技術鍍上鎳、銅、鎳-鈷. 之不同金屬層，成形金屬模仁最後使用本.
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#51南台科技大學機械工程系微奈米技術組
1. 掃描原子探針技術(SPM)之加工應用。 2. CNC奈米工具機系統設計及監控技術之開發。 3. 生醫晶片之設計製作。 4. 精密機械與機密模具之類光刻模造技術 (LIGA-like)。 5.
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#52非矽基LIGA-like 微機電技術
「非矽基LIGA-like 微機電技術」可用於設計製作微米的元件，本公司分別有黃光與電鑄生產線，利用黃光與電鑄可以製得微米等級的元件。
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#53课程名称中文凝态物理场论.doc - 原创力文档
... which are as fundamental as particle physics and cosmology. ... 製程、體型微加工、面型微加工、CMOS微加工、LIGA／LIGA-like 製程等技術；（ ...
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#54工業電子學 - 第 389 頁 - Google 圖書結果
類 LIGA ( LIGA - like )製程是以紫外光( ultraviolet )微影照像,準分子雷射( excimer laser )微加工,及反應離子蝕刻( reactive ion etching , RIE )等積體電路的技術 ...
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#56LIGA：看下面 - 華人百科
LIGA工藝是一種基于X射線光刻技術的MEMS加工技術(工藝流程如圖所示)，主要包括X ... 工藝而製造性能與LIGA技術相當的新的加工技術，通稱為準LIGA技術或LIGA-like技術。