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#1微系統類LIGA 製程光刻技術
類LIGA 製程是以不同於同步輻射X 光的光源. 進行光刻術，主要的替代性光刻法有紫外光微影(5-7)、. 準分子雷射微加工(excimer laser micromachining)(8-10) 及. 反應性離子 ...
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#2何謂LIGA www.tool-tool.com＠BW Cutting Tools｜PChome ...
標準的LIGA製程是使用波長0.2-0.6nm的同步輻射X光來進行深光刻術，這是由於同步輻射X光具有波長短、繞射現象小、功率大、穿透力強等優點，亦正因為如此才使得LIGA製程所 ...
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#3LIGA技術 - 國立高雄科技大學第一校區
MEMS Lab. 17. Sacrificial LIGA Technique (SLIGA). ▫ 在LIGA製程之前在基材先鍍上 ...
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#4電鑄技術簡介
如圖. Page 3. 圖、LIGA 製程意示圖. 第一步驟是在基板上鋪上一層厚度數十至數百微米的高分子光阻材料，光源. 經由特殊設計與製作的光罩照射在光阻上。 第二步驟是將照設過 ...
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#5何謂LIGA www.tool-tool.com - Le blog de willy
標準的LIGA製程是使用波長0.2-0.6nm的同步輻射X光來進行深光刻術，這是由於同步輻射X光具有波長短、繞射現象小、功率大、穿透力強等優點，亦正因為如此才 ...
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#6第二章文獻回顧 - 國立臺灣師範大學
然而，同步輻射光源為一龐大且. 昂貴的設備，世界上適合用來進行X-ray LIGA 製程的同步輻射環僅約30. 座，且X-ray 光罩的製作成本與時間的耗費過高。因此以替代性光源發展 ...
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#7LIGA 製程在導光板模具製作之應用Application of LIGA Process ...
關鍵詞：鎳鐵合金、導光板、LIGA 製程、電鑄. Abstract ... 另一種用於導光板翻模的製程方式為精密切削加工，在化學鍍鎳之模具鋼表面以鑽石超精密加工切削出V 形.
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#8第二章文獻回顧
而. 目前最常用的X 光光阻材料為PMMA(poly-methylmeth-acrylate)，也. 就是壓克力。 (2)光罩製備與光刻[8][6][20]. LIGA 製程技術之光罩是由吸收體 ...
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#9應用UV - LIGA 於導光板模仁之製作研究
在整個技術開發過程中，本文將著重在UV-LIGA 製程上的探討、厚膜. 光阻SU-8 熱迴流(reflow)時，所產生的流動情形對Dot 形狀的影響以及固. 定鎳模仁之方式是否適用於厚度0.5 ...
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#10LIGA 制程原理及应用(初稿) - 百度文库
LIGA 制程 原理及应用(初稿) - LIGA制程原理及應用Terry.Liao Outline 微機電系統技術(MEMS)簡介LIGA技術介紹LIGA技術制程原理LIGA...
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#11類LIGA製程應用於靜電式微致動器光開關之研製 - Airiti Library ...
微機電系統技術中整合光刻術、電鑄及模造成型之深光刻電鑄模造(LIGA)製程，是批量生產高深寬比微元件的最佳方法。標準的LIGA製程使用同步輻射X光為光刻源，可製作次 ...
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#12以UV-LIGA製程製作之梳狀致動器
Fabrication of Comb Drive Microstructures by UV-LIGA Process ... 侯勝發，2000，Quasi-LIGA-like 製程研製二維振動式微陀螺儀，國立成功大學，碩士論文。
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#13微機電系統簡介
以半導體製程為出發點. 嘗試製作任何非電路的微小元件 ... 結合微影、沉積、摻雜、蝕刻等製程. 可在矽晶片上形成多層薄膜 ... 光刻電鑄模造技術(LIGA及類LIGA技術).
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#14高精密電鑄技術應用於矽晶太陽電池之細線電極製作 - 材料世界網
標準LIGA 是使用同步輻射X光作為光源；廣義LIGA（亦可稱為類LIGA製程( LIGA-like Process )）則包含另外四種替代性光源：電子束( E-beam )微影、深 ...
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#15博碩士論文行動網
論文名稱: 新型紫外光厚膜光阻合成暨類LIGA製程進行之微混合器製作研究. 論文名稱(外文):, Synthesis of Novel UV Thick Photoresist and Fabrication of Micromixer ...
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#16電鑄模具 - 冠橙科技股份有限公司
Soda lime玻璃模具: CD>5um, 深度<1.5um, 模具尺寸800x960x8t; 深度超過玻璃模具限制，可以用光阻厚度當模具，使用Liga製程。
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#1823. LIGA 製程常用於何種領域製作小零件？ (A)半導體製程(B)微..
LIGA 製程 常用於何種領域製作小零件？ (A)半導體製程 (B)微機電系統 (C) 生化科技 (D) 逆向工程. 編輯私有筆記及自訂標籤. 機械製造(含機械材料)- 104 年- 104 臺灣菸 ...
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#19類LIGA 技術加工SU-8 光阻以製作折射式微透鏡陣列之研究
微機電LIGA (LIGA/MEMS)製程技術,使用同步輻射X 光為光. 刻源,可製作次微米精度之微結構,但因其製程成本高且設備取得. 不易,使得以紫外光微影、準分子雷射光微加工或反應性 ...
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#20微奈米製程與科技之應用
仿X 光刻電鑄模造( LIGA-like ) ... 製程中僅需要少量的化學反應用氣體，是. 比較好的蝕刻方法 ... MEMS的發展，根源於1960年代中期利用半導體製程，.
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#21德國Karlsruhe市世界第一座全自動微機電LIGA製程設備將於 ...
Microworks公司製程獨特的地方在於，使用來自Karlsruhe同步加速器的特殊X光，因此能使產品精密度 ... 要使Liga製程應用更廣泛，首先必須降低其成本。
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#22CH 4 微機電元件之關鍵製程蝕刻與LIGA. - SlidePlayer
蝕刻製程的功能蝕刻製程的功能，是將微影製程前所沉積的薄膜，把沒被光阻覆蓋的部份以化學反應或物理作用的方式去除掉，已完成轉移光罩圖案到薄膜上面的目的。
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#23類LIGA製程製作微小模仁應用於繞/折射微透鏡之硏究 - Google ...
Title, 類LIGA製程製作微小模仁應用於繞/折射微透鏡之硏究. Author, 楊詔中. Publisher, National Taiwan University Department of Mechanical Engineering, 2007.
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#24類LIGA製程製作微小模仁應用於繞/折射微透鏡之研究
在微光學元件中最常用的是折射微透鏡與繞射微透鏡，本篇論文主要以改良之類LIGA製程改善傳統微透鏡製程之缺點，製作高精度、高品質之微小光學模仁，並將製作完成之折射 ...
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#26半導體製程簡介
由矽砂提煉成矽晶棒的最後一關，使用柴氏或稱CZ製程（Czochralski process），操作方法如圖13－5所示。 ... (1)LIGA所用的微影製程與前述IC製程中相同。
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#272004 IKE 48-0 - PIDC Support Development Network - PSDN
何謂LIGA ？/LIGA 技術的起源與發展/LIGA 製程; 同步輻射X 光微影術; 3D &高深寬比之LIGA 製程微構件; 灰階光罩微影術/移動光罩微影術 ...
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#28厚膜光阻微結構特徵尺寸之研究
Keywords: UV-LIGA製程;田口實驗方法;抗反射層;高深寬比結構;Taguchi method;reflection layer;high aspect ratio structure;UV-LIGA process.
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#29穩銀科技股份有限公司- 微流通道,微流控,生醫微感測器,磁珠,微 ...
穩銀已建造完整的類LIGA製程的環境，公司的無塵室(class 100等級)可分為黃光區、電鑄區和後段製程區: 黃光區: 光阻塗佈機、曝光機、顯影機、烤箱及電漿蝕刻機等.
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#30機械群 - 公告試題僅供參考
(B) LIGA製程利用X光微影、電解與射出成形製造微結構零件. (C) 半導體單晶成長常使用的柴可斯基法，其拉出之 ... (B) 以非傳統式切削加工取代鍛造、鑄造與滾軋成形製程.
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#311234567890123456789012...
有關微影製程的順序，下列何者正確？ ... 下列哪一項是LIGA製程不可缺少的技術？ ... IC中的線路及元件製作，正確的步驟為(A)薄膜製作→微影製程→蝕刻→離子植入(B)微 ...
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#32黃鈺惠
製程工程師 微采視像科技股份有限公司. 奇美視像公司更名為微采視像公司 1.提升無接縫圓筒電鑄(非金屬基材)成功率 2.LIGA製程-NIL無接縫圓筒製程控制及改善
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#33提升太陽能電池模組封裝效率之研究Solar Modules Efficiency ...
本研究以光學軟體輔助設計微透鏡及類LIGA 製程製作微透鏡. 模仁，進而以太陽電池模組封裝轉印在杜邦ETFE 膜，藉由微透鏡. 陣列的填充率、微透鏡直徑及對正角等參數，量 ...
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#34利佳精密科技股份有限公司- 商品- 微噴霧模組
應用類LIGA製程之微噴孔片 ○壓電陶瓷應用技術 ○電子/機構/空氣動力能量傳遞分析 ○最佳化電路控制. 語言：. English, 中文. - - - - - - 產品資訊- - - - - - ...
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#35國立清華大學第11 屆新進人員研究獎得獎人簡介奈微所傅建中 ...
傅建中教授畢業於德國卡爾斯魯爾研究中心微結構技術研究所，該研究中心是. 微結構LIGA 製程的發源地。傅教授自2004 年回國任教後，即積極在本校建立.
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#36微邦科技股份有限公司 - MoneyDJ理財網
TW)成立於1997年5月，公司致力於非矽基微機電技術的深刻模造LIGA微機電 ... LIGA就是X光深刻精密電鑄模造成形，簡稱深刻電鑄模造，標準的LIGA製程使用 ...
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#37光學與機構設計工程師｜奇象光學有限公司｜新竹市 - 104人力 ...
了解LIGA與微結構壓印製程7.正向思考與熱愛運動8.勇於接受挑戰、喜愛創新、不甘於平淡工作生活、不甘於做大公司內的小螺絲釘者9.可承受工作壓力者10.
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#38投資臺灣入口網Invest Taiwan_null
該公司主要從事微機電系統（MEMS）類LIGA製程之產品設計與生產，包括精密電鑄零件、微孔霧化片... 外商來臺. 台灣日東電工股份有限公司. 日本日東電工在海外第一個投資 ...
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#39共面波導- 維基百科，自由的百科全書
一個使用517 µm製程LIGA技術製造的厚銅層共面波導。 共面波導（英語：Coplanar waveguide，縮寫為CPW或CPWG，或稱「共面帶狀線」、「共面微帶線」、「共平面波導」） ...
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#40微齒論與生物晶片之製程分析測試蕭宏宇、吳政憲
隨著類LIGA 製程技術逐漸成熟，故本研究利用類LIGA 製程技術，搭配微機電系統技術與微細. 加工技術，製作微流體生物晶片與微齒輪之微小結構，並配合全電式FANUC 射出 ...
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#414企業進駐加工區投資4億增130職缺 - Yahoo奇摩
第2大投資額的利佳精密科技股份有限公司，預計投資3860萬元，進駐台中加工出口區，主要從事微機電系統（MEMS）類LIGA製程產品設計與生產，包括精密電 ...
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#42以全像干涉及精密電鑄技術製作高分子薄膜光柵結構
類LIGA 製程之先進技術解決了工具磨耗及材料機器耐磨度問題，並能達到次. 微米的精準度。有很多簡單並只要相當容易製程之複製技術，如：熱壓成型[15]、. UV 光成型[16]及 ...
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#43關鍵詞 - 工業技術研究院
加工、LIGA 製程、長脈衝雷射加工、飛秒雷射微細. 加工等方式，其優缺點整理如表一所示。在綠色製. 程需求下，雷射製程具乾式及節省化學藥劑使用等.
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#44微机电系统(MEMS)应用技术中 - 豆丁网
此製程結系统(MEMS) 应用技术中斥吓折钡群巾German:Lithographie, ... 本論文研究的主要目的為開發Laser-LIGA與UV-LIGA製程所需要的高分子厚膜光阻材料及所需之製程 ...
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#45LIGA Resist - 旋寶好化學
DLC LIGA resist 是在PMMA基礎上開發的厚膜光阻，其中PMMA的分子量為410K。另外，可以根據客戶的具體需求來生產其他分子量的LIGA製程光阻。主要用於LIGA製程和X-Ray ...
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#46公告本
同步輻射同時也是LIGA方法中一種最佳的X射. 線光源,因為藉由選擇適當的波長範圍,同步輻射可以增. 加光罩選擇上的自由度。 LIGA製程的一種應用是在微型透鏡的領域內。
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#47產品資訊| 和淞科技股份有限公司
和淞擁有「非矽基LIGA-like 微機電技術」，可用於設計製作微米等級的元件。本公司自有黃光室及電鑄室，以微影製程光罩圖型設計模仁後，再以精密電鑄製成微米等級的 ...
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#48無基板內嵌氣泡式背光模組設計與製造
製程 方式則是利用. 類LIGA (Lithographie galvanoformung abformung) 技術及軟微影轉印方式為基礎. 加以改良，可以得到立體結構改變的可變尺寸微透鏡陣列，不需基板及 ...
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#49360°Research：深刻電鑄模造 - 電子時報
深刻電鑄模造(LIGA)為德文Lithographie GalVanoformung Abformung的縮寫， ... LIGA製程主要應用在高精度定位結構元件，如微型馬達、導波元件、微反應 ...
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#50CH 4 微機電元件之關鍵製程蝕刻與LIGA. 蝕刻製程的功能...
Home · Documents · CH 4 微機電元件之關鍵製程蝕刻與LIGA. 蝕刻製程的功能蝕刻製程的功能，是將微影製程前所沉積的薄膜，把沒被光阻覆蓋的部份以化學反應或物理 ...
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#51微光學元件之製作與量測國立中央大學
利用LIGA-like 製程技術以準分子雷射加工進行微光學元件之製作，. 方法是使用KrF、波長248nm 之深紫外光準分子雷射，透過一片含. 有數種圖樣之鍍鉻光罩，經由物鏡以 ...
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#52110 學年度技術校院四年制與專科學校二年制統一入學測驗機械 ...
光照射光敏樹脂固化成形(B)LIGA 製程利用X 光微影、電解與射出成形製造微結構零 ... 削加工，並且提高加工精度(B)以非傳統式切削加工取代鍛造、鑄造與滾軋成形製程.
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#53系所簡介| 國立陽明交通大學機械工程學系
系所簡介 · 生物力學, 生物醫學工程, 人體動作控制 · 精密銲接與微接合、薄膜材料之製程與分析、高性能材料之銲接與熱處理 · 矽基微機電製程、UV-LIGA製程、微結構與微流體 ...
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#54李逸隆- 專案副理- 旺矽科技股份有限公司 - LinkedIn
3D雷射螺旋曝光技術、黃光/電鑄製程、UV LIGA in using SU8 high-aspect-ratio microstructures 2.微機電探針設計/製作: RF Probe/MEMS POGO Pin/MEMS Cobra/MEMS ...
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#55臺灣科技大學機構典藏NTUSTR
目前含有微小溝槽結構的產品在模具製造困難度高，常見的LIGA製程，在翻製鎳模仁時需增加多道翻製製程，模仁尺寸亦有誤差產生。本研究利用矽的高熱傳導 ...
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#56CH 4 生產微機電元件之關鍵製程微影製程 - Cupdf
CH 4 生產微機電元件之關鍵製程微影製程製造微米級零件之主要製程矽基製程:源至積體電路製程,其優勢為矽及其化合物 ... LIGA 製程: 為X 光平版法, 微流電學及塑膠模造.
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#57Hybrid refractive/diffractive micro-optical component for high ...
本研究乃整合微透鏡陣列和閃耀式光柵於同一層光學薄膜，為一整合型功能之混合式微光學元件，並成功開發完整類LIGA製程流程，冀望所研究之雙面折/繞射 ...
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#58微邦科技股份有限公司 - 大陸台商經貿網
其高功率輸出(1KW)使許多大功率及高精密度需求的加工可輕易完成。除了多種雷射加工機台外，微邦科技同時擁有LASER-LIGA製程設備可月生產數以十萬計高品質、 ...
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#59風力驅動微齒輪系統 - 精微陶瓷產品設計與製造技術研發中心
「雷射線立體切割法」可製造任意形狀之3-D元件，不但省卻了傳統LIGA製程方法之眾多技術步驟，更能革命性地在製造流程中自動完成系統的組合，無須另外進行系統之組合 ...
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#614企業進駐加工區獲准投資4億增130職缺 - Taiwan News
第2大投資額的利佳精密科技股份有限公司，預計投資3860萬元，進駐台中加工出口區，主要從事微機電系統（MEMS）類LIGA製程產品設計與生產，包括精密電 ...
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#6220080701-066-Liga Like | PDF - Scribd
LIGA LIKE · 標準的LIGA 製程使用同步輻 · 微機電產業將來勢必為國家最重要的產業之 · LIGA-like 類深刻模造技術即是指以其他替 · 光源波長1.3 nm ，曝光深度 ...
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#63【新錶2021】愛情最有創意的模樣！寶璣Reine de Naples ...
寶璣將伸縮指針做出新意，以愛心形狀設計伸縮分針，LIGA製程的彈性材質讓愛心可以隨著不同轉速的齒輪轉動改變形狀，走到分鐘標示60（整點）的位置是 ...
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#64奈微米機電實驗室 - 交大機械
實驗室分機, 886-3-5712121 Ext.55149 ; 位置, 工五館/EE406 ; 負責教授, 徐文祥 ; 儀器設備 ; 研究方向, 矽基微機電製程、UV-LIGA製程、微結構與微流體驅動元件、螺旋彈簧、汽 ...
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#65KrF準分子雷射LIGA製程用之光阻劑研究 | 健康跟著走
中文關鍵詞: KrF準分子雷射、聚甲基丙烯酸甲酯、LIGA製程. 所謂準分子雷射（Excimer Laser），是指在雷射的介質中，使用稀有氣體和鹵素等混合氣體的紫外線（UV）雷射， ...
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#66工業電子學 - 第 392 頁 - Google 圖書結果
簡單的電磁( electromagnetic )微致動器可以用 LIGA 製程,以半導體矽製造。磁性材料的性質以鎳( Ni )最宜,稀土金屬鉛站( SmCo )合金亦可。LIGA 製程可製造三維結構。
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#67108年逼真!機械製造學(含概要大意)模擬題庫+歷年試題
LIGA技術係結合X-ray光蝕刻、電鍍與射出成型製作高深寬比微機械結構。 4.微機械加工則利用切削加工、放電加工或射出成型等方法來製作微機械元件。(二) LIGA 製程: LIGA ...
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#68109年主題式機械製造(含識圖)高分題庫 - 第 307 頁 - Google 圖書結果
LIGA技術係結合X-ray光蝕刻、電鍍與射出成型製作高深寬比微機械結構。 4.微機械加工則利用切削加工、放電加工或射出成型等方法來製作微機械元件。(二) LIGA 製程: LIGA ...
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#69創意性工程設計 - 第 256 頁 - Google 圖書結果
此些方法最大的特點在於製程成本低廉,可適合大面積與曲面之產品上,但製程後有毒或 ... 目前微奈米結構的表處技術雖有蝕刻製程、LIGA 製程(Lithography eletroforming ...
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#70TAIKO製程| 研磨| 解決方案
TAIKO製程，與以往的背面研磨不同，在對晶圓進行研磨時保留晶圓外圍的邊緣部份(約3 mm左右)，只對圓內進行研磨薄型化之技術。 TAIKOプロセス ...
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#72光機電系統設計與製作 - 第 759 頁 - Google 圖書結果
精確度較低 LIGA 製程將設計好的導光圖樣利用類似於半導體之光罩曝光顯影方法轉印在光阻膜上,利用熱迴流製程使光阻表面形成圓滑之半球狀,再以精密電鑄之複製技術將光阻 ...
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#73111年機械製造完全攻略 - 第 416 頁 - Google 圖書結果
LIGA 製程 利用微影、電鍍與射出成形製造微結構零件。 13 ( D )。重複使用之模型不為砂模鑄造失敗之主要原因。 千華影音課程超高畫質,清晰音效環繞猶如教師親臨!
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#74111年機械製造[歷年試題+模擬考] - 第 275 頁 - Google 圖書結果
LIGA 製程 利用微影、電鍍與射出成形製造微結構零件。 13 (D)。重複使用之模型不為砂模鑄造失敗之主要原因。 2 (C)。(A)閉環式精度較佳。(B)數值控制工作母機的概念起源 ...
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#75微機電系統概論- 成功大學_______ 學年度 - 道客巴巴
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#77凱爾迪科技股份有限公司-專研半導體濕製程設備，提供客製化 ...
凱爾迪科技股份有限公司專研半導體溼製程設備，推出清洗機、去光阻機、顯影機、 蝕刻設備、PCBA清洗設備等多款設備，提供客製化服務。