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微機電製程步驟
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晶圓製程流程及半導體的種類與製程是我們園區重要的 ... - 隨意窩
晶圓經多次光罩處理,其中每一次的步驟包括感光劑塗佈、曝光、顯影、腐蝕、滲透、植入、蝕刻或蒸著等等,將其光罩上的電路複製到層層晶圓上,製成具有多層線路與元件的IC晶 ...
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