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MEMS是怎樣的技術，哪些已經民用了？ - GetIt01

Systems （MEMS）是利用集成電路製造技術和微加工技術把微結構、微感測 ... 萬計的MEMS晶元（有些工藝也會把集成電路晶元放在同一步驟加工）出現在了 ...

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