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奈米壓印(Nanoimprint Lithography,NIL)技術的最新應用發展

利用室溫製程，在石英基板表面形成具凹凸圖案的透明模具。 ... (三)、MEMS構裝之應用開發利用Nanoimprint製程容易形成微細3次元立體形狀，因此 ...

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