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微機電製程步驟
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電鑄技術簡介
微機電製程 領域之微光刻電鑄模造技術(LIGA),結合了積體電路的光刻術、電化. 學的電鍍鑄模技術,可用以大量 ... 第三步驟是利用電鑄技術,將金屬沉積在此光阻模板內。
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