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微機電系統簡介 - CTT

所以MEMS晶圓大部份都會將這些結構加蓋（封蓋）密封在一個小空間中，有些高精密的元件，甚至需要裡面抽真空或灌惰性氣體。這也是IC制程不會有的。 市場 ...

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