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積體電路與微機電產業 - 博客來

書名：積體電路與微機電產業 ，語言：繁體中文，ISBN：9789572191859， ... 科學家把機械元件與光學元件，整合積體電路製作成單一晶片，稱為「微機電系統(MEMS：Micro ...

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