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推動半導體發展加速企業贊助國研院500萬美元設備 - 自由時報

透過恩萊特科技公司贊助之「微機電開發平台」，從平面設計，到製程參數 ... 的微機電元件；再經由此平台另一軟體Soft-MEMS將業界生產的實際製程步驟及 ...

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